24.11.2023 Neue FFKM-Dichtungswerkstoffe

Das Isolast® PureFab™-Sortiment wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen an Dichtungslösungen für Front-End- und Sub-Fab-Prozesse zu erfüllen, inkl. der geforderten mechanischen Eigenschaften, der Chemikalien- und Plasmabeständigkeit und Reinheit. Zunehmend raue Umgebungen erfordern für Fabs und OEM haltbarere Produkte, um ein vorzeitiges Versagen der Dichtungen zu verhindern und Ausfallzeiten – und die damit verbundenen Kosten – zu vermeiden. Beide neuen Materialien konzentrieren sich darauf, die aktuellen spezifischen Anforderungen der Industrie zu erfüllen. JPF22 bietet eine hervorragende Kompatibilität mit nassen Prozesschemikalien und Dampf sowie mit aminbasierten Vorläufern für die Atomlagenabscheidung (ALD) und verfügt über eine sehr gute Plasmabeständigkeit und Partikelgenerierungsleistung in einer Vielzahl von Prozessgasen. Es eignet sich für den Einsatz bei Temperaturen von bis zu +220 °C, weist eine deutlich geringere Verformung auf als Konkurrenzprodukte und gewährleistet eine langfristige Dichtungsleistung. Als Allround-FFKM eignet es sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Nassverfahren wie elektrochemische Abscheidung (ECD), chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) und Nassätzung, ECD-Waferversiegelung, Asche/Streifen, chemische Gasphasenabscheidung (CVD), plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) und Plasmaätzung.

JPF40 ist eine Ultrahochtemperaturformulierung, die aufgrund ihrer Vernetzungschemie eine hervorragende Verformungsbeständigkeit in Druckverformungstests über längere Zeiträume aufweist. Selbst nach fast 6.500 h oder 270 Tagen bei +200 °C liegt die Verformung bei etwa 50%. Es weist die höchste Spitzen-/Ausdehnungsbeständigkeit eines Elastomers auf und übersteht  Temperaturen von bis zu +350 °C für bis zu 72 h. Die Formulierung weist außerdem geringe Ausgasungseigenschaften, eine – im Vergleich zu anderen schwarzen Hochtemperatur-FFKM – sehr geringe Kontamination mit Spurenmetallen, eine minimale Partikelbildung und einen minimalen Gewichtsverlust bei Einwirkung einer Vielzahl von Plasmaprozessgasen sowie eine ausgezeichnete chemische Kompatibilität mit gängigen trockenen Prozessgasen auf. Es eignet sich für thermische und Sub-Fab-Anwendungen, einschließlich Pumpen, Vakuumentlüftungssystemen und Abgasleitungen, Oxidation und schnelle thermische Verarbeitung (RTP), chemische Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD) und Atomlagenabscheidung (ALD), Vakuum- und Abgasflanschdichtungen, Ofentürdichtungen, und ist ideal für die Verwendung in Kombination mit dem Isolast® K-Fab™-Flansch.