Die Funktionalitäten des HiQuad® Neo bieten eine effiziente und benutzerfreundliche Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen (Bild: Pfeiffer Vacuum GmbH)
22.08.2024 Neues Massenspektrometer mit hoher Messgeschwindigkeit
Das neue Massenspektrometer HiQuad Neo von Pfeiffer Vacuum vereint Leistung, Flexibilität und einfache Bedienung. Es erreicht eine Messgeschwindigkeit von bis zu 125 μs/u und zeichnet sich durch eine sehr gute Empfindlichkeit und einen großen dynamischen Bereich aus.
Je nach Anwendung können unterschiedliche Massenbereiche, Stabdurchmesser, Ionenquellen, Detektoren, Schnittstellen und Kabellängen ausgewählt werden. Mit diesen Eigenschaften ist das HiQuad Neo besonders für Anwendungen in Forschung und Entwicklung, für die Integration in Analysesysteme sowie für Sauberkeitsverifizierungen für die EUV-Lithografie geeignet.
Geräte der Vorgängergeneration können auf den technologischen Stand des HiQuad Neo gebracht werden. Die Verwendung einiger vorhandener Komponenten, wie z.B. dem Analysator, ist möglich. Dies reduziert Kosten und Abfall. Mithilfe der PV MassSpec-Software lässt sich das Massenspektrometer einfach bedienen. Sie bietet eine übersichtliche und benutzerfreundliche Plattform zur Aufnahme und Darstellung von Messdaten sowie von Parametersätzen. Mit dem integrierten Sequenzer können komplette Messabläufe einfach und automatisiert programmiert werden. Ein Klick genügt, um die Lecksuche und Vakuumdiagnose durchzuführen. Darüber hinaus ermöglicht die Software automatisiertes Kalibrieren und Tunen. Die Definition von Messrezepten ist einfach, eine Verknüpfung der massenspektrometrischen Daten mit externen Signalen möglich. Alternativ kann auch direkt über die Ethernet-Schnittstelle (via OPC-UA) kommuniziert werden.
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