28.06.2024 Erweiterungen zur effizienteren Helium-Lecksuche

Smart-Spray ist eine neue Helium-Sprühpistole. Schlauchgebundenes Hantieren mit großen Helium-Flaschen und fehleranfälliges Einstellen der Sprühmenge sind mit der neuen Pistole nicht mehr nötig. Die Sprühpistole ist pro Heliumfüllung für über 1.000 Sprühstöße ausgelegt und ersetzt eine Fernbedienung. Außerdem kombiniert sie ihre Funktionen mit denen einer manuellen Helium-Sprühpistole. Ausgestattet mit einem beleuchteten Farbdisplay wird damit insbesondere die Lecksuche an komplexen Halbleiteranlagen mit vielen Prüfpunkten und potenziellen Lecks einfacher. Charakteristisch für diese Einsatzgebiete sind Grenzleckraten kleiner 1 ∙ 10-9  mbar ∙ l/s. In den Anwendungen macht das akkubetriebene, tragbare Gerät die Dichtheitsprüfung flexibler, einfacher und effizienter.

Der Signalverarbeitungsfilter I·BOOST beschleunigt  das Leckratensignal. So verkürzen sich die Ansprech- und Prüfzeiten, speziell für die UL3000 Fab- und UL6000 Fab-Serie, weil die Prüfpunkte in kürzeren Intervallen besprüht werden können. Bei der Lecksuche resultiert daraus eine Zeitersparnis von bis zu 50%. Anwendende, die die Lizenz erwerben, erzielen schnellere und präzisere Messergebnisse für unterschiedliche Kammervolumina. Auch für den Signalverarbeitungsfilter gilt, dass die Nutzenvorteile insbesondere in komplexen Halbleiteranlagen ihren größten Effekt erzielen. Denn je kleiner die Grenzleckraten sind, desto länger dauern die Testzyklen üblicherweise – und dabei wirken sich die höhere Empfindlichkeit und die Zeitersparnis des Filters am stärksten aus.

Spray-Check ist ein leicht installierbares Prüfleck. Das Tool basiert auf Quartzfenstern, die nur für leichte Gase wie Helium durchlässig sind. Dies erhöht die Sicherheit und erweitert die Funktionalität der Lecksuche. Das Prüfleck erlaubt eine Überprüfung des Messaufbaus und des Prüfverfahrens im relevanten Leckratenbereich. Um Totzeitüberprüfungen durchzuführen, lässt es sich auch direkt an der Anlage anbringen. Manchmal vergeht eine gewisse Zeit vom Sprühstoß bis zur Anzeige auf dem Display. So können  Anwendende besser abschätzen, wie lange die Pause zwischen den Sprühpunkten andauern sollte, damit potenzielle Leckagen auch eindeutig zugeordnet werden können. Dabei gilt das Ausschlussverfahren: Erfolgt nach Ablauf der Totzeit keine Anzeige, liegt kein Leck vor. Weil Spray-Check für prozessschädliche Gase, wie etwa Wasser- oder Sauerstoff, undurchlässig ist, kann es auch an der Halbleiteranlage montiert bleiben. Wichtige Anwendungsgebiete sind Anlagen mit Grenzleckraten unter 10-9 mbar ∙ l/s.

Die drei Ergänzungen eignen sich für alle mobilen Inficon Helium-Leckdetektoren der UL-Familie, wobei I·BOOST der neuesten Generation von UL-Geräten (UL3000 Fab/UL6000 Fab-Serien) vorbehalten ist.